Sin@SiC-SiC系列
關(guān)鍵詞：
碳基
所屬分類：
產(chǎn)品與應(yīng)用
德智新材產(chǎn)品涵蓋碳基、陶瓷及其高端材料，應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片制造各個環(huán)節(jié)，如單晶生長、外延、刻蝕、擴(kuò)散、CVD、PVD等。產(chǎn)品性能媲美海外SiC耗材先進(jìn)友商，助力高端制造國產(chǎn)化。
產(chǎn)品性能:
耐高溫 |
耐高壓 |
耐磨 |
使用壽命高 |
耐腐蝕性 |
純凈度高 |
材料及特性
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• 基材：燒結(jié)SiC（厚度>0.5 mm） |
• 涂層：β-SiC（厚度<300 μm） |
應(yīng)用場景
晶圓制造
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• 外延 |
• 擴(kuò)散 |
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實現(xiàn)技術(shù)
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• 粉末燒結(jié)技術(shù) • 精密加工（SiC） |
• 低壓化學(xué)氣相沉積（LPCVD） |
性能要求
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• 致密度高 |
• 結(jié)合力強(qiáng) |
• 高純度 |
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• 良好導(dǎo)熱 • 高電阻（部分產(chǎn)品） |
• 抗氧化 |
• 抗開裂 |
應(yīng)用領(lǐng)域
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• LED光電 |
• 集成電路 |
• 第三代半導(dǎo)體 |
推薦產(chǎn)品
公司秉承共創(chuàng)、共享、共贏的理念，專注于從事碳基、陶瓷及其高端材料的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售
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