CVD@TaC涂層系列
關鍵詞：
碳基
所屬分類：
產(chǎn)品與應用
德智新材產(chǎn)品涵蓋碳基、陶瓷及其高端材料，應用于半導體芯片制造各個環(huán)節(jié)，如單晶生長、外延、刻蝕、擴散、CVD、PVD等。產(chǎn)品性能媲美海外SiC耗材先進友商，助力高端制造國產(chǎn)化。
產(chǎn)品性能:
耐高溫 |
耐高壓 |
耐磨 |
使用壽命高 |
耐腐蝕性 |
純凈度高 |
材料及特性
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• 基材：等靜壓石墨（厚度>0.5 mm） |
• 涂層：TaC（厚度<300 μm） |
應用場景
晶圓制造
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• 單晶生長 |
• 外延 |
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實現(xiàn)技術
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• 精密加工（石墨） |
• 低壓化學氣相沉積（LPCVD） |
性能要求
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• 致密度高 |
• 結合力強 |
• 高純度 |
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• 高導熱 |
• 耐腐蝕 |
• 抗開裂 |
應用領域
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• LED光電 |
• 集成電路 |
• 第三代半導體 |
推薦產(chǎn)品
公司秉承共創(chuàng)、共享、共贏的理念，專注于從事碳基、陶瓷及其高端材料的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售
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